ЭПИТАКСИЯ

Эпитаксия – разнообразие в плане методов эпитаксии. Использование молекулярной эпитаксии, и её отличия от молекулярно-лучевой эпитаксии. Сфера применения газофазной эпитаксии, и её преимущества в сравнении с жидкофазной эпитаксией

ЭПИТАКСИЯ

Эпитаксия – это весьма двухзначный процесс, который основывается в нарастании разнообразных пород на других. Проще говоря – это активный и даже в какой-то мере искусственный рост кристалла на кристалле другой плоскости.

Все мы прекрасно понимаем, что рост кристалла – это процесс, который в любом случае должен быть связан с произведением процесса эпитаксии.

причина этого заключается в самом принципе произведения данного процесса, который проделывается путем накладывания огромного количества слоев.

Гетероэпитаксия – это уже более трудоемкий процесс, который может похвастаться немалым количеством особенностей. Заметить отличия данного процесса от обычного весьма проблематично. Сделать это можно лишь в случае задействования подложки для кристалла.

Не мене важным аспектом стоит считать возможность создания неких интегральных преобразователей, которые состоят из таких материалов, как: сапфир кремень.

Сам процесс роста подразумевает проведение еще и дополнительных анализов, которые в свою очередь занимают определенные промежутки времени.

Процессы подобного типа также могут похвастаться и немалым количеством особенностей, которые важно учитывать.

Одной из таковых можно назвать расположение плоскости единой решетки, которая не может тщательно закрываться и иметь дальнейшее развитие в другой.

Окончательные точки на подобных плоскостях, могут похвастаться весьма необычными местами дислокации, что проявляется лишь при максимально точном схождении всех важнейших условий.

Важно также помнить и о том, что общая энергия грани, должна распределяться по определенным участкам:

  • Кристалл-среда
  • Подложка-среда
  • Подложка-кристалл

Эпитаксия – это процесс, который многие считают неотъемлемым элементом в различных полупроводниковых устройствах.

А все потому, что он отчасти контактирует с интегральными системами, которые в свою очередь, напрямую зависят от произведения процессов подобного типа.

Учитывая все эти моменты, мы можем прийти выводу, что процесс эпитаксии – это действительно очень действенный метод, который вполне себе можно использовать в самых разных направлениях.

Еще одним важным моментом считают качество данного процесса. Большинство пользователей, также отмечает и высокое качество систем для произведения данного процесса, которые практически никогда не поддаются разного рода поломкам.

Методы эпитаксии

Но, несмотря на высокую степень надежности процесса эпитаксии, есть еще и другие стороны данного процесса. Многие пользователи также отмечают универсальность данного метода, которая проявляется в сфере применения данного процесса. Метод эпитаксии отлично себя показывает в самых разных направлениях, причем делает это очень стабильно.

Сейчас мы рассмотрим те методы эпитаксии, которые применяются чаще всего:

  • Газофазная эпитаксия
  • Жидкофазная эпитаксия
  • Молекулярно-лучевая эпитаксия
  • Молекулярная эпитаксия

Все вышеперечисленные методы являются по-своему необычными, а это уже говорят о том, что они будут пользоваться большим спросом. Особенно важным аспектом является надежность и стабильность подобных методов.

Сейчас мы рассмотрим все преимущества и недостатки процесса эпитаксии, дабы все-таки определиться, чего окажется больше:

Преимущества эпитаксии:

  • Высокое качество
  • Широкий спектр применения
  • Высокие показатели производительности
  • Простота конструкции
  • Высокое качество обработанной продукции

Недостатки эпитаксии:

  • Периодические сложности в рабочем процессе
  • Надобность периодического повторения данного процесса

Сравнив все явные преимущества и недостатки процесса эпитаксии, мы можем прийти к выводу, что данный метод действительно является вполне стоящим. Конечно, в нем не обошлось без определенных нюансов, но это можно найти в любой системе. А главное в данном процессе – это качество, стабильность и производительность, которая находится на максимально высоком уровне.

Молекулярная эпитаксия

Молекулярная эпитаксия – это процесс, который на данном этапе является одним из наиболее надежных и в то же время популярных. Данный процесс эпитаксии подразумевает активную работу молекул, которые собственно и способны привести данный механизм в движение.

Особенно популярным данный процесс является на различных производствах, где ключевая задача заключается в максимально высоких показателях производительности. Ведь данный метод позволяет достигать наиболее высоких отметок в плане производительности.

Но, несмотря на максимально высокий уровень качества, данный процесс еще не гарантирует полного отсутствия каких-либо сбоев.

Именно для этого, чтобы минимизировать подобные случаи, производители советуют пользователям следовать абсолютно всем пунктам в инструкции.

Благо, в них описан весь процесс применения данного метода и надо лишь следовать всем указаниям. Так как только в таком случае, вы сможете получать от процесса молекулярной эпитаксии максимум пользы.

Еще одним явным преимуществом молекулярной эпитаксии является скорость произведения данного процесса. В это же время иные методы эпитаксии нуждаются в огромном количестве оборудования, дабы произвести быстрый процесс эпитаксии. В нашем же случае, требуется лишь одна единственная установка, которая, несмотря на простоту своей конструкции способна проделывать все то же самое.

Молекулярно-лучевая эпитаксия

Молекулярно лучевая эпитаксия – это процесс, который в любом случае связан с эпитаксиальным ростом в условиях высокого и сверхвысокого вакуума. Данный метод имеет значительно большую сферу применения, что позволяет использовать его при росте гетероструктур.

Проделывая данный процесс, пользователь, получает изделие, которое подойдет ему в точности до мелочей в плане толщины. К числу функций данного метода можно отнести также и процесс легирования при помощи гладких гетерограниц.

Произведение подобного метода позволяет сделать установку для молекулярно-лучевой эпитаксии еще более эффективной.

Еще одним важным компонентом в проведении данного процесса можно назвать подложки. Подобное оборудование в установке выполняет функцию регулятора, который позволяет проделывать все процессы более качественно и надежно.

Важно учитывать, что процесс молекулярно-лучевой эпитаксии включает в себя несколько критериев:

  1. Первым из них, является наличие в системе условий сверхвысокого вакуума
  2. Еще одним очень важным компонентом является молекулярный источник, который играет одну из важнейших ролей в системе
  3. И третий момент заключается в уровне чистоты самого изделия, которое в дальнейшем будет поддаваться испарению

Газофазная эпитаксия

Что касается газофазной эпитаксии, то этот метод на данном этапе является одним из наиболее востребованных. причина этого заключается в возможности образования нескольких эпитаксиальных слоев без помощи огромного количества дополнительного оборудования.

Немалую роль в этом играет наличие полупроводникового осаждения. Это один из основных компонентов подобных систем, который также проходит газовую фазу.

Чаще всего, подобные методы используют в германиевых или же кремниевых технологиях, где они являются систематизирующим звеном.

Важно также учитывать тот факт, что проделывать подобные процессы можно лишь при пониженном уровне давления в реакторе. Следующий этап газофазной эпитаксии заключается в быстром передвижении реакции наружу устройства. Далее к делу приступают специальные подложки, которые уже предварительно подготовлены, а это значит, что их температура может достигать вплоть 1200 градусов.

Жидкофазная эпитаксия

задача жидкофазной эпитаксии – это создание надежного полупроводникового соединения. Делается это при помощи таких компонентов, как: кремний и тому подобное. Единственной явной проблемой является сложность в обработке подобных материалов, которая вынуждает применять еще и дополнительное оборудование.

Еще один важный момент заключается в изготовлении рабочей шихты. Процессы подобного типа напрямую зависят от разного рода веществ, которые играют большую роль в процессе наращивания. Каждый слой отличается определенными показателями молекулярного состава, так как может иметь самые разные примеси.

Эпитаксия и ее использование в промышленности

ЭПИТАКСИЯ

Навигация:

Это закономерное увеличение 1-го кристального вещества во втором, то есть направленное увеличение 1-го кристалла в плоскости иного (подложка). Определённо, увеличение абсолютно всех кристаллов допускается охарактеризовать как эпитаксиальное: любой дальнейший пласт обладает той же ориентировкой, что и предшествующий.

Отличают гетероэпитаксию, когда элемент подложки и нарастающего кристалла неодинаковы (процедура возможна только лишь для химически не взаимодействующих элементов, к примеру, так производят накопленные преобразователи с текстурой кремния на сапфирах), и гомоэпитаксию, если они схожи.

Направленное увеличение кристалла изнутри объёма второго, именуется эндотаксией.

Эпитаксия в особенности свободно исполняется, в случае если отличие неизменных решёток не выше 12 %. При немалых расхождениях сопрягаются более плотноупакованные плоскости и направленности. При этом элемент плоскостей одной из решёток не содержит продолжения во второй. Кромки этих оборванных плоскостей формируют дислокации несоответствия.

Эпитаксия совершается подобным способом, чтобы общая активность грани, заключающейся из зон подложка-кристаллик, кристаллик-сфера и подложка-сфера, имела минимальное значение. Эпитаксия представляется одним из базисных действий технологического процесса полупроводниковых устройств и накопленных схем.

Термин «эпитаксия» был обозначен в 1928 г., французским учёным Л. Руайе.

Установки эпитаксии

Комплекс заключается из 3 научно-технических модулей: устройство анализа и подготовки подложек, эпитаксии полупроводниковых синтезов и эпитаксии простых полупроводников, металлов и диэлектриков. Вакуумно-машинная система комплекса содержит, кроме того, устройство загрузки и выгрузки подложек, концепцию транспорта подложек, концепцию заблаговременной откачки и извлечения высокого вакуума.

С поддержкой 2- и 5-степенных манипуляторов совершается шлюзовое поступление подложек диаметром вплоть до 60 мм, без помехи вакуума в любую из 3 камер, и их разгрузка в последствие нанесения пленок либо текстур.

В камере для подложки располагается гетерополярная пушка с целью доочистки подложки гетерополярным травлением, и оже-профилирования. В камере эпитаксийных полупроводников определено 6 тепловых испарителей.

В камере простых полупроводников размещено 2 тепловых тигельных испарителя и 2 электронно-радиальных испарителя.

Эпитаксия молекулярных пучков

Простое периодическое окружение заключается из чередующихся пластов бесцветных веществ с разными признаками преломления.

Нынешние достижения в технологические процессы выращивания кристаллов, в особенности способом эпитаксии с молекулярных пучков, дают возможность растить периодические расслоенные среды с отлично регулируемыми периодичностями и толщинами пластов, подходящими нескольким атомным пластам.

Популяризация валов в периодических расслоенных сферах исследовали многочисленные творцы. В данном случае допускается извлечь правильное решение волнового уравнения. Предполагается, что вещества представлены немагнитными.

Эпитаксия – эффективность процесса молекулярной эпитаксии. Использование молекулярно-лучевой эпитаксии. Газофазная эпитаксия и разнообразие методов эпитаксии. Сферы применения жидкофазной эпитаксии и особенность работы установок эпитаксии. Эпитаксия молекулярных пучков

ЭПИТАКСИЯ

Эпитаксия – это один из самых необычных процессов, которые встречаются в работе вакуумных установок. Структура данного процесса далеко не самая легкая и этому есть огромное количество причин.

По сути, данный процесс представляет собой нарастание одной кристаллической породы на другой. Рост кристалла – это процесс, который подавно является эпитаксиальным, так как без него произвести подобную технологию попросту невозможно.

Каждый эпитаксиальный слой, представляет собой совершенно другой молекулярный состав, что собственно и делает материал более стойким и надежным.

Навигация:

Гетероэпитаксия – это некая разновидность обычной эпитаксии, которая отличается лишь более сложной формой и сферой применения. Образование подобного процесса является невозможным тез наличия подложки и главного кристалла.

Изготовление интегральных преобразователей – это один из самых явных показателей того, насколько эффективным является процесс гетероэпитаксии.

Структура данного процесса напрямую зависит от взаимодействия таких элементов, как: сапфир и кремний. Не менее важным аспектом является ориентировочный рост.

Данный показатель говорит о том, насколько большим может впоследствии оказаться данный кристалл.

Эпитаксия – это процесс, который сам по себе является довольно разнообразным, из-за чего к нему относиться огромное количество важных аспектов, о которых не стоит забывать.

Если же речь идет о более простых методах эпитаксии, то их можно производить лишь в том случае, если разница решеток не более 10 процентов.

В ином случае, система может выдавать определенные сбои, справиться с которыми будет уже очень проблематично.

Процент плоскостей – это еще один важный аспект, на который стоит обращать свое внимание. В определенных ситуациях, плоскости попросту не могут иметь продолжения в других решетках. Подобная ситуация могут привести к дислокации несоответствия, которая ничего хорошего явно не принесет.

Сейчас мы рассмотрим ключевые участки, которые должны присутствовать в процессе эпитаксии:

  • кристалл-среда
  • подложка-кристалл
  • подложка-среда

На данном этапе, процесс эпитаксии стал не только востребованным, а еще и очень важным в работе определенных отраслей. Многие предприятия уже активно задействуют данный процесс, так как с его помощью, можно значительно увеличить показатели производительности определенных предприятий.

Эпитаксия – отличия разных методов эпитаксии. Особенности жидкофазной и газофазной эпитаксии. Ключевая сфера применения молекулярно-лучевой эпитаксии

ЭПИТАКСИЯ

Эпитаксия – это процесс, который заключается в нарастании различных пород друг на друге. Если сказать проще, то это обыкновенный рост кристалла, который происходит на другом кристалле. Рост кристалла – это в любом случае процесс, связанный с эпитаксией. А все потому, что каждый новый слой, который накладываетсяуникален и имеет совершенно другой молекулярный состав.

Навигация:

Гетероэпиткасия – это немного иной процесс, который имеет свои характерные особенности. Отличить его от стандартного процесса эпитаксии, можно лишь в том случае, если будет задействовано вещество из подложки самого кристалла.

В процессе эпитаксии, можно изготавливать также интегральные преобразователи, которые работают на основе таких материалов, как: кремень и сапфир.

В процессе роста можно также проводить некий анализ, следуя которому можно узнать примерное время, за которое произойдет увеличение кристалла в размерах.

Такие процессы, также имеют и ряд характерных особенностей, которые также желательно учитывать. особенность заключается в том, что большая часть плоскостей одной решетки, не может иметь дальнейшего развития в другой. Финальные точки таких плоскостей, могут предоставить настоящую дислокацию несоответствия, образующуюся исключительно при точном схождении всех нужных условий.

Не стоит также забывать о том, что суммарная энергия грани, должна состоять из определенных участков, а именно:

  • Подложка-среда
  • Подложка-кристалл
  • Кристалл-среда

Добившись минимальных показателей в этом плане, можно не беспокоиться о том, что в процессе будут возникать какие-то неполадки.

Эпитаксия – это процесс, который является неотъемлемой частью в полупроводниковых приборах. Там он частично контактирует с интегральными системами, которые также нуждаются в проведении подобного процесса. Взяв во внимание все аспекты, мы можем сделать вывод, что на данный момент, эпитаксия – это один из самых надежных процессов.

Главной причиной такого мышления является тот факт, что установки, работающие на таком принципе, практически никогда не поддаются поломкам и стабильно выдают высокие показатели производительности.

Эпитаксия – значимость молекулярной эпитаксии на производстве. Методы эпитаксии: Молекулярная эпитаксия, газофазная эпитаксия, жидкофазная эпитаксия, молекулярно-лучевая эпитаксия

ЭПИТАКСИЯ

Эпитаксия – это весьма интересный процесс, который заключается в нарастании одной кристаллической породы на другой. По сути – это самый настоящий рост одного кристалла, который происходит на поверхности второго.

Если смотреть на этот процесс с сугубо объективной стороны, то рост любого кристалла стоит называть эпитаксиальным. Каждый слой, который накладывается на один кристалл, имеет свой собственный состав, лишь немного отличаясь от предыдущего.

Навигация:

Различить гетероэпитаксию не так легко, делается это при помощи вещества из подложки, и кристалла, который является вторым по значимости.

При помощи такого процесса, как эпитаксия производится изготовление интегральных преобразователей, структура которых основывается на сапфире и кремне.

Существует также такое понятие, как ориентировочный рост, которое означает приблизительный анализ роста кристалла.

Процесс эпитаксии сам по себе имеет большое количество аспектов, которые стоит учитывать, перед тем как проделывать подобную операцию.

Если же говорить о самом легком методе осуществления эпитаксии, то проделывается он только в том случае, если разница между постоянными решетками не превышает показатель в 10 процентов.

Если же расхождение решеток значительно больше, то упакованные направления и плоскости соприкасаются максимально сильно, из-за чего могут возникать определенные неполадки.

Особенностью данного процесса также является то, что определенная часть плоскостей некоторых решеток не может иметь продолжения в другой. Конечные точки таких оборванных плоскостей представляют собой дислокацию несоответствия, которая образуется лишь при точном схождении таких условий.

Чтобы процесс эпитаксии был максимально качественным и надежным, суммарная энергия грани, должно состоять исключительно из таких участков, как: кристалл-среда, подложка-среда и подложка-кристалл. В таком случае, удается добиться минимального уровня всех этих показателей, что обеспечивает качественное проведение такого процесса, как эпитаксия.

Эпитаксия – это один из наиболее распространенных процессов в технологиях полупроводниковых приборов, которые взаимно связаны с интегральными системами. Из этого можем сделать вывод, что эпитаксия – это один из наиболее надежных процессов, который редко приводит к каким-то сбоям в работе.

Поделиться:
Нет комментариев

Добавить комментарий

Ваш e-mail не будет опубликован. Все поля обязательны для заполнения.

×
Рекомендуем посмотреть